半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。

近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

我國(guó)將減少對(duì)進(jìn)口氦氣的依賴

我國(guó)氦氣資源相當(dāng)貧乏，含量很低，提取難度大，成本高，90%以上的氦氣需要進(jìn)口。發(fā)現(xiàn)和勘探開發(fā)新的氦氣資源和研發(fā)先進(jìn)的提氦技術(shù)，對(duì)于改變我國(guó)貧氦的被動(dòng)局面，提高氦氣生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)性、保障國(guó)家用氦安全和促進(jìn)我國(guó)提氦工業(yè)的發(fā)展具有重要意義。

國(guó)內(nèi)首shou個(gè)“地?zé)峋芎ぬ崛≡囼?yàn)站”在咸陽三普2號(hào)地?zé)峋ㄕ荆┙ǔ桑覈?guó)獨(dú)有的水溶型氦氣氣球在渭河盆地上空高高飄起。這標(biāo)志水溶氦資源評(píng)價(jià)和提取技術(shù)取得了突破性進(jìn)展，對(duì)于推動(dòng)渭河盆地高品位水溶氦氣資源工業(yè)化、規(guī)模化提取開發(fā)，解決國(guó)家氦氣資源貧乏與戰(zhàn)略保障問題與“地?zé)?氦氣”綜合開發(fā)利用新模式具有重要的戰(zhàn)略和現(xiàn)實(shí)意義。

因?yàn)榱騭f6高壓電器設(shè)備的內(nèi)部氣體濕度是經(jīng)由人為來進(jìn)行操控的，這也導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部的氣體含水量比較低。內(nèi)部的水蒸汽氣壓低，但大氣中水蒸汽氣壓卻相對(duì)很高。在這樣的高溫又高濕的條件之下，水分子便會(huì)自動(dòng)從高壓區(qū)往低壓區(qū)進(jìn)行滲透。外界的氣溫越高且相對(duì)濕度越大，那么內(nèi)外水蒸汽的氣壓差也就會(huì)越大，從而也導(dǎo)致了大氣中的水分透過設(shè)備的密封薄弱環(huán)節(jié)進(jìn)入到設(shè)備的可能性也就越大。因?yàn)榱虻姆肿又睆綖?.56×10-10m，水分子的直徑為3.2×10-6m，六氟化硫分子為球狀，水分子是細(xì)長(zhǎng)棒狀，那么在內(nèi)部外部水分氣壓差比較大的時(shí)候，水分子便易于進(jìn)到六氟化硫的設(shè)備的內(nèi)部。