氦氣在在半導體中的檢漏作用

為了防止半導體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質而導致性能退化，就必須采用管殼來密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產生一些肉眼難以發現的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系，但是在半導體器件、集成電路等重要電氣設備及儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要。因為氦原子的尺寸很小，容易穿過小洞而進入到管殼內部，所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞（即能夠檢測出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。

氦氣檢漏試驗的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

汽車氦檢漏

充氦方式：箱內充氦待檢工件：汽車空調冷凝器、蒸發器及管路真空箱數量：2個真空箱尺寸：1100（長）×550（寬）×250（高）mm，鴨嘴式自動開關門每箱可檢工件數量：依據工件大小而定生產節拍：可依據客戶要求而定氦氣是否回收：是，設備帶回收系統

雙箱聯動運行，每個真空箱可檢多個工件真空箱翻蓋式結構，自動開關箱門特殊設計的夾具與工件相匹配，滿足不同工件的檢測需要一體式設計，即整臺設備安裝在一個底座上，設備移位簡單方便配備堵塞檢測功能，判斷工件是否有堵塞配備電腦及打印機，自動存儲及打印檢測數據適用于汽車空調蒸發器、冷凝器、管路的氦檢漏方案

氦氣漏檢測試

真空測試(由外向內)

氦氣生產廠家表示，在真空測試中，對于較大的體積，用單獨的泵系統對器件進行抽真空，對于較小的體積，則在檢測器內部進行抽真空。找到漏洞使用流量可調的噴霧探針將氦氣注入零件的泄漏部位。

壓力測試(由內向外)

在壓力測試中，零件用氦氣或氦氣和空氣的混合物加壓。找到漏洞使用連接到檢漏儀入口的嗅探器探針掃描零件的潛在泄漏點。

如何選擇正確的氣體檢測解決方案

確認所要檢測的氣體種類和濃度范圍

每一個生產部門所遇到的氣體種類都是不同的。在選擇氣體檢測儀時要考慮到所有可能發生的情況。如果和其它毒性較小的烷烴類居多，選擇LEL檢測儀無疑是為合適的。充注檢漏氣體前先檢查大漏在充注檢漏氣體前應快速測試是否存在大漏。這不僅是因為LEL檢測儀原理簡單，應用較廣，同時它還具有維修、校準方便的特點。當然在一些人員罕至、維護不方便的區域，或者可燃氣泄漏（比如罐體內等密閉空間），采用紅外可燃氣體檢測器不失為一種較好的選擇。