特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域，

特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，是隨著近年來科學研究、自動 化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，