|
公司基本資料信息
|
掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀,但由于其本身具有許多的優(yōu)點(diǎn),發(fā)展速度是很快的。
1 儀器分辨率較高,通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié),采用LaB6電子,可以進(jìn)一步提高到3nm。
2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大,且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察,同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。
要獲得一張清晰的電鏡照片,必須要能夠做好基本的電鏡操作、以及針對(duì)各種樣品做出工作條件的優(yōu)化。
基本操作包括熟練的調(diào)節(jié)對(duì)焦和消像散。對(duì)焦相對(duì)容易,改變焦距,直至圖像清楚的時(shí)刻即為合焦。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度,在合焦點(diǎn)附近調(diào)低靈敏度,以便進(jìn)行對(duì)焦。
基本操作中消像散相對(duì)來說比較麻煩,特別是像散很大時(shí),對(duì)于很多初學(xué)者來說調(diào)節(jié)比較困難。不過前面已經(jīng)介紹了像散的產(chǎn)生,電子束由于不再是圓形,所以在像散未消除的情況下,圖像是不清晰的。不過其中有兩個(gè)特殊的位置,即光學(xué)中的子午和弧矢,在這兩個(gè)位置上束斑完全成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。