氣體管道安裝需要注意什么？

第i一，你所設(shè)工程的基本信息要盡量齊全，

例如，儀器的擺放位置，

儀器所要用到的氣體，

儀器所用的氣體壓力，

流量方面的要求，所用儀器的進(jìn)氣口的配置情況，鏈接儀器的管線為多大。

第二，氣體管路工程中很重要的是鋼瓶間和管路的設(shè)計(jì)安裝及各個(gè)輔助元件的選擇和安裝。

這些關(guān)系到你所要測(cè)驗(yàn)的物質(zhì)的報(bào)告精度，

如果你要測(cè)驗(yàn)的物質(zhì)報(bào)告要求只是個(gè)大概的就可以，

那么建議用國(guó)內(nèi)的報(bào)告精度，

否則，必須選擇國(guó)外的品牌，

第三、 氣體管路工程安裝中，

由于標(biāo)準(zhǔn)氣體品種繁多，成分復(fù)雜，易i燃易i爆和有毒有害氣體的泄漏，都可能產(chǎn)生事故，

因此室內(nèi)安裝報(bào)警器是實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)的必要條件，安全生產(chǎn)，預(yù)防為主。

因此在氣體管路安裝過(guò)程中我們要注意腐蝕

1)濕氣腐蝕 例如HCL、CL2在有水存在時(shí)很容易腐蝕鋼瓶，

水分的引入可能來(lái)源于客戶使用，沒(méi)有關(guān)閉閥門(mén)，也可能在充裝過(guò)程中或水壓檢驗(yàn)中;NH3、SO2、H2S也有類似的腐蝕。

即使是干燥的氯i化氫和氯i氣，高濃度時(shí)也不能儲(chǔ)存在鋁合金氣瓶中。

潔凈車間高純氣體管道的安裝、施工？

潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)狻嚎s空氣、燃?xì)獾纫话銡怏w和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ 71-1990)的有關(guān)規(guī)定。氣體管道安裝實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)作為一種氣體補(bǔ)給方式，現(xiàn)已經(jīng)被人們?cè)絹?lái)越廣泛的使用。高純氣體是指其氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義、要求嚴(yán)格遵守設(shè)計(jì)、施工要求，工作嚴(yán)肅認(rèn)真、一絲不茍，高度重視各個(gè)細(xì)小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。要求做到以下幾個(gè)方面:

1.外觀的檢查工作

(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門(mén)及所有附件，嚴(yán)格設(shè)計(jì)要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

(4)管子、管件、閥門(mén)等使用前，詳細(xì)進(jìn)行下列外觀檢查:

1)無(wú)裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

2)無(wú)銹蝕、蝕斑等現(xiàn)象。

3)管子平直、圓滑，無(wú)局部凹陷，無(wú)刮傷、擠壓等缺陷。

4)管材內(nèi)表面的“粗糙度”是否符合設(shè)計(jì)要求，螺紋處密封、保護(hù)是否良好。

5)外購(gòu)成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關(guān)等i級(jí)i證書(shū)和資i質(zhì)證明。應(yīng)隨機(jī)抽樣做顯微鏡下檢驗(yàn)，必須符合設(shè)計(jì)要求。

6)檢查成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

7)法蘭的密封面應(yīng)當(dāng)平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應(yīng)當(dāng)能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應(yīng)當(dāng)質(zhì)地柔軟、無(wú)老化及分層現(xiàn)象，表面不得有折損、皺i紋等現(xiàn)象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。（13）氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。此外，對(duì)于供應(yīng)多臺(tái)分析儀器的氣體管路，另外還需氣體壓力控制指示裝置。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

為什么要選擇集中供氣系統(tǒng)管路工程安裝

集中供氣系統(tǒng)屬于實(shí)驗(yàn)室交鑰匙工程的組成部分，各種氣路管閥件和裝置并焊接和安裝。氣源則由專門(mén)的氣體公司或氣瓶經(jīng)銷商提供。

目前大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)猓诛w集中供氣系統(tǒng)的作用就是將氣體安全、連特點(diǎn)續(xù)、穩(wěn)定的供應(yīng)到到各實(shí)驗(yàn)室中放置的分析儀器。氣體管道安裝要求實(shí)驗(yàn)室的氣體供應(yīng)不同于一般工廠的要求，首先表現(xiàn)在儀器設(shè)備對(duì)氣體的純度要求較高，一般工作氣體要求達(dá)到99。