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為什么零部件需要去除油污:減少部件表面上的離子雜質。滿足容器排氣(outgassing)性能的測試 (由第三方實驗室檢測).此測試檢測出了在真空下嵌入金屬表面的有機材料的數量和成分。如果測試中的數量太大,則意味著終的加工設備很難將容器真空至全真空狀態。815 GD 在這些測試中都有的表現, 主要表現為的清潔能力以及測試中未發現清洗劑的殘留。

半導體氧化設備具有可密封容器(或氧化室),將具有內置加熱器的加熱臺設置于這一氧化室的室內部。在加熱臺上設置襯底支座, 在襯底支座上放置半導體樣品(或半導體襯底)。氧化室還設有用于向室內部提供包括蒸汽的氧化氣氛的輸入管和在氧化過程結束后用于排出室內部 中的氧化氣氛的排出管。根據具有這樣的結構的半導體氧化設備,有可能以相對高的復現性使半導體樣品均勻氧化。

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