高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。實驗室氣體管道安裝【實驗室氣體管路要求】1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進(jìn)行維修。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

實驗室氣體工程安裝注意事項

（1） 管徑為1/8的管路很細(xì)且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經(jīng)減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級減壓器量程為0—4 Mpa，二級減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，一是正轉(zhuǎn)鋼瓶接頭，另一是反轉(zhuǎn)。大氣瓶用的是反轉(zhuǎn)，小氣瓶用的是正轉(zhuǎn)。

（4） 氣體管路每隔1.5m設(shè)一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應(yīng)設(shè)固定件。

（5） 氣體管路應(yīng)沿墻明設(shè)，以便安裝維護(hù)。

氣路系統(tǒng)百科知識

一、氣瓶間。

1、鋼瓶間的設(shè)計宜設(shè)在中心化驗室的主入口側(cè)，并應(yīng)采取遮陽防曬措施，當(dāng)鋼瓶間與建筑物為一體時，隔墻應(yīng)為鋼筋混凝土防爆墻。

2、通風(fēng)良好，并具有足夠的泄爆面積，室內(nèi)地面應(yīng)有防火花，防靜電措施;

3、可燃?xì)怏w鋼瓶(H2，C2H2)與助燃?xì)怏w鋼瓶(O2)應(yīng)隔開布置;

4、還應(yīng)設(shè)立泄露報警系統(tǒng)。

二、色譜室。

1、中心化驗室的管道應(yīng)統(tǒng)籌規(guī)劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

2、引入中心化驗室的工藝管道總管應(yīng)設(shè)切斷閥，并根據(jù)需要設(shè)置壓力表、溫度計、流量計、過濾器和減壓閥等。閥門或儀表宜設(shè)置在便于觀察和檢修的位置;

3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設(shè);

4、管道宜集中布置并沿墻明設(shè)，且方便安裝及檢修;

5、使用鋼瓶氣管道的設(shè)備臺應(yīng)離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應(yīng)采用螺紋連接和使用閘閥。

實驗室氣體管道工程

實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路

氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

實驗供氣系統(tǒng)易i燃易i爆氣體使用安全注意事項

1.易i燃易i爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆i炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆i炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報警裝置。具體要求如下：

①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者，報警裝置設(shè)置在所處場所的較低處。

③可燃?xì)怏w的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲i擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆i炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。