氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）是用來(lái)測(cè)量氣體流量，如果你需要檢測(cè)氣體流量需要用MFM。 當(dāng)然MFC還是有檢測(cè)方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設(shè)定一個(gè)大流量，MFC會(huì)反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測(cè)出來(lái)了，因?yàn)镸FC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測(cè)量了，就需要抵壓損的MFM。

氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)

利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來(lái)做熱源，一只用來(lái)測(cè)量流體溫度，當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過(guò)微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制