物鏡

處于樣品室下面，緊貼樣品臺，是電鏡中的個成像元件，在物鏡上產生哪怕是極微小的誤差，都會經過多級高倍率放大而明顯地暴露出來，所以這是電鏡的一個重要部件，決定了一臺電鏡的分辨本領，可看作是電鏡的心臟。

特點 物鏡是一塊強磁透鏡，焦距很短，對材料的質地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標的問題，便是對物鏡的性能設計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小，又希望其空間大，便于樣品操作，但這中間存在著不少相互矛盾的環節。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優點，發展速度是很快的。

1 儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節，采用LaB6電子，可以進一步提高到3nm。

2 儀器放大倍數變化范圍大，且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。

為什么會出現這樣奇怪的現象？為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像？前面我們已經說到，電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制，電子束在試樣表面并不是連續掃描，而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大，我們會誤以為是連續掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡，那么電子束就有一定的覆蓋面積。

束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時，束斑覆蓋比較；但是當束斑減小時，束斑的覆蓋區域也越來越小，所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到，所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上，這就造成了信息的丟失。像上述例子，在大倍數小，束斑之間跳躍間距小，足夠覆蓋特征形貌，但是縮小倍數后，跳躍距離變大，束斑不足以覆蓋所有的特征形貌，有的線條就反映不出來。