真空檢漏向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。極限壓力不合格，升壓率合格這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點，檢漏步驟為: .1.用內徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發現漏點，這時發現的漏點都較大，然后應立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。2.第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些， 重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

氦質譜檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。氦質譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負壓法。負壓法就是常說的抽真空，這是氦質譜檢漏儀常用的檢漏方法。

為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。